褰���浣�缃�锛� 棣�椤� >寤虹��寤烘�� >��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎����

��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎����

��甯��堕�达�2019-06-12 17:29:06       ��甯�浜猴���娉�       瀛�浣�澶у�锛���澶с����涓�����灏���

��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎������瑕�甯哥�ㄧ��������SiOTiO Al2O ���″���������虹��锛�涓�����瑕�涔����告��杈�锛���瑕�������宸ヤ欢�锋�����圭�规�э�濡����哥⒈��绋冲���у�寮恒������娲绘�у�����浣跨�ㄥ�垮�藉欢�跨��锛�������甯告�捐���� ����瑕���宸ヤ富瑕�宸ヨ�虹被����锛�浼�缁���瀛�����娉������㈢�″��瀹朵�缁�����娉�����灞��堕�磋��匡���绌惰�澶�锛�宸ヨ�轰�杈�������甯哥�ㄧ���跺� ����瀛�娌�绉�娉�锛��╃����瀛�娌�绉�娉�锛�姘寸��娉�锛�婧惰�讹����舵��� 浼�缁����跺� 瀵瑰��瑕�灞�����搴� 涓�澶�绮剧‘锛��句互�ㄤ�瑕�姹�杈�楂�绮惧害��宸ヤ�搴��ㄤ腑��浣��跺�锋������浣�寤���浠��ㄧ��������杩�缁�澶ц�妯$��浜х��浼��匡�����姝ょ被 琚�骞挎�搴��ㄤ�甯歌���宸ヤ骇涓�涓�����瀛�姘��告�绉�娉�(CVD)��瀛�姘��告�绉�娉�(CVD)�� 绉� �ュ���у��椹变�涓��哄�琛ㄩ�㈣�琛���搴���锛��ㄥ�惰〃�㈡�绉�锛��ュ�跺�楂�璐ㄩ����楂��ц�藉�轰���������瀛� ����甯哥�ㄤ��ㄥ�哄���瑕� 灞���瑕��╋���娲遍�告�纾峰�� 锛�瀵瑰�哄�琛ㄩ�㈣�琛���瀛�绾�(绾崇背绾�)��缁��� ���跺��哄�锋����灞���澶�灞���澶���灞���浠ュ�����芥�у��瑕�灞������� �变�CVD���藉��凤�浠���寰��颁�蹇�����灞��������㈢�″��瀹跺凡缁���涓哄�跺�����浠ュ����瑕��ф������涓昏� ��瀛�灞�娌�绉�娉�(ALD)��瀛�灞�娌�绉�娉�(ALD)���轰�杩�缁���姘��稿��椹变�娌�绉�����瀛�杩�绋�锛��藉�绮剧‘ ��灞�娌�绉�������搴���姝g�变�姝ょ�规�э�ALD甯哥�ㄤ��跺�瓒����卞����锛�浠�涓�涓�绾�90骞翠唬浠ユ�ュ��颁�蹇�����灞�锛�琚�骞挎�搴��ㄤ��垫���姘磋В绂汇�����╁�昏������瀵间����������跺�绛��归���� �����㈢�″��瀹�ALD瀵瑰��椹变���绾�搴�瑕�姹�寰�楂�锛�娌�绉������堕�翠�杈��匡�����寰�楂���浠��ㄨ�惧�����楂���锛���娲辨��缂��㈢�$7��锛�����浜ф����澧���锛�寰��惧���板ぇ瑙�妯$��宸ヤ���锛�甯哥�ㄤ�瀹�楠�瀹ょ��绌躲��婧�灏�娉������㈢�″��瀹舵�灏�娉��� 绉� 婧� 琛�娌�绉����╃��姘��告�绉�娉���婧� ����瀛��锋��杈�绐����介����甯�锛�琚�婧� ���╄川��甯告��绂诲����浜х�┿���变��跺�锋��楂��介��锛���甯稿�ㄧ��绌哄�や腑�寸嚎���诲�哄���浣��ㄨ�楂���姘�浣���澧�涓�锛�婧� ��绂诲��浼�涓�姘�浣� �������伙�浠����瑰���惰��ㄦ�瑰��锛� �����诲�ㄥ�哄�涓���绂诲���介��杈�浣��� 婧�灏�娉���甯镐娇��Au��Pd��Ag浣�涓洪�堕�存��锛��跺���瑕��у������锛����ㄤ�澶ч�㈢Н������娑�瑕��������㈠��浜������э�杩����告������㈢�″��浜у凡��姝ュ�澶�锛��㈠��瀵瑰������璐�璋ㄦ��锛�瀵艰�翠��ㄩ���跨�冲��鸿�椤跺���姐���㈠��浣跨�ㄥ�戒骇�块��姣�涔��ㄦ��楂�锛���浠ュ�����夸环浠�灏��垮��涓�琛��������翠釜�㈠�琛ㄧ�伴�戒���寰�濂斤��界�跺��哄����琛ㄧず����甯�浠疯��冲���锛���������绛��归��锛�浣���浠�褰�����琛���渚��ц��夸���锛���璺������芥�т��у����锛�涓�寤鸿����瀹� 淇�瀛�渚ュ垢蹇���锛�涔�涓�������琛ヨ揣琛ヤ���瀛�璐с����搴�����绠″�����璧板�匡�绗���璁や负锛��瑰� �″�琛���锛�瀹�瑙��㈤�炬����涓猴�绠′环�ユ�冲��寮硅���寰��舵�ワ�姣�绔�����绉�绉��� 绌烘���灏�瀛�锛�甯��鸿�����缁�娴�����澶ч�ㄥ���㈠��澶� 浜�浜����舵����������楂�娓┿��澶��ㄥぉ姘����版�ワ��㈠�杩��ヤ�缁���涔�涓���娣″�o����� 娈垫�堕�撮��浠峰ぇ�����戒互璺��夸负涓伙����╂���垫��杩� 姝ュ��缂╃��绌洪�达�涓轰�姝�浜�锛� �㈠����浜ф���挎��浼�澧�寮猴��存�ユ���堕���跨�虫�璐癸�瀵圭�夸环褰㈡����绱���淇℃���ㄨ����娲卞��宸�����宸� ��宸�锛��ㄧ��浜ц�绋�涓�锛��变�瀹���灏哄�搁�句�杈惧�板��绉板昂瀵歌�姹�锛��冲�寰�澶т���灏�浜���绉板昂瀵革���浠ユ����涓�瑙�瀹�浜�瀹���灏哄�镐���绉板昂瀵镐��村��璁告�� 宸��笺��宸��间负姝e�肩����姝e��宸�锛�宸��间负璐��肩����璐���宸���寤鸿�惧箍娉��ㄤ� 缁���浠跺���烘�伴�朵欢锛�濡��虫补�绘����姹借溅浼��ㄨ酱����琛�杞��朵互��寤虹���藉伐涓��ㄧ���㈣�����剁���ㄩ�� ����褰㈤�朵欢锛�����楂����� ��锛�绠��� 宸ュ�锛���绾���������宸ュ伐�讹�宸插箍娉��ㄩ�㈢�℃�� �� ������缂��㈢�$����浜у伐�哄��浠ュ��涓哄�锋��涓���杞т袱绉�锛��疯涧��缂��㈢�$����浜ф�绋� ��瑕�姣���杞ц�澶���锛�绠″��棣���瑕�杩�琛� 杈�杩�杞э� ��瑕�杩�琛�瀹�寰�娴�璇�锛�濡���琛ㄩ�㈡病����搴�瑁�绾瑰����绠¤�缁�杩��叉�鸿�琛����诧����叉���垮害绾� 绫崇���������� �ラ����娴�绋�锛�����瑕��ㄩ�告�� 杩�琛��告�锛��告��惰�娉ㄦ��琛ㄩ�㈡������澶ч���� 娉′骇��锛�濡�����澶ч���� 娉′骇��璇存���㈢�$��璐ㄩ��杈句��扮�稿���������澶�瑙�涓��疯涧��缂��㈢�¤���浜���杞ф��缂��㈢�★��疯涧��缂��㈢�$��澹��� ��姣���杞ф��缂��㈢�¤�灏�锛�浣���琛ㄩ�㈢�� �ユ����澹���缂��㈢�℃�村����浜�锛�琛ㄩ�㈡病��澶�澶���绮�绯�锛��e�涔�娌℃��澶�澶���姣��恒��������缂��㈢�$��浜よ揣�舵�� ������杞х�舵��缁�杩���澶��� 琛�浜よ揣����杞ф��缂��㈢�″�ㄧ�杩�璐ㄦ���瑕�缁�杩�宸ヤ�浜哄����涓ユ�肩����宸ユ����锛��ㄨ川妫���瑕�杩�琛�琛ㄩ�㈡�娌癸��跺��绱ф�ョ����澶�娆$���锋��瀹�楠�锛���杞у�����瑕�杩�琛�绌垮����瀹�楠�锛�濡���绌垮���╁�杩�澶у氨瑕�杩�琛����寸��姝c���ㄧ���村������ 瑁�缃� �版��浼ゆ�鸿�琛���浼ゅ��楠�锛� ��璐翠���绛俱��杩�琛�瑙��肩������剧疆�板�颁�搴�褰�涓�����绠″��→����→绌垮��→ 杈���杞с��杩�杞ф�� →�辩��→瀹�寰�锛�����寰�锛�→�峰��→����→姘村��璇�楠�锛�����浼わ�→��璁�→�ュ� ��缂��㈢�℃���ㄩ�㈤����瀹�蹇�绠″��缁�绌垮���舵��姣�绠★��跺��缁���杞с���疯涧���锋�ㄥ�舵������缂��㈢�$��瑙��肩�ㄥ�寰�*澹���姣�绫虫�拌〃绀恒����杞ф��缂�绠″�寰� ��澶т�32mm锛�澹��� 5-200mm锛��疯涧��缂��㈢�″�寰���浠ュ��6mm锛�澹�������0.25mm锛���澹�绠″�寰�����5mm澹���灏�浜�0.25mm锛��疯涧姣���杞у昂瀵哥簿搴�楂��� ���ㄦ��缂��㈢�℃���� 20��30��3 45绛�浼�璐ㄧ⒊缁���16Mn��5MnV绛�浣�����缁����㈡��40Cr��30CrMnSi��45Mn 40MnB绛���缁��㈢��杞ф���疯涧�舵������ 20绛�浣�纰抽�� ����缂�绠′富瑕��ㄤ�娴�浣�杈���绠¢����4 40Cr绛�涓�纰抽�㈠�舵������缂�绠$�ㄦ�� �烘�伴�朵欢锛�濡�姹借溅�������虹�������朵欢�� ���ㄦ��缂��㈢�¤�淇�璇�寮哄害������璇�楠�����杞ч�㈢�′互��杞х�舵������澶����舵��浜よ揣锛��疯涧浠ョ��澶����舵��浜よ揣��涓��ㄦ����涓�涓诲�奸�㈠��娌��㈠�哄��浠蜂�璋�50-60锛���涓� �㈠��涔���璧板急锛�甯��哄�拌揣����涓�婊�����澶����ㄦ���哄�璺�灏�娑�锛��翠���璋�锛�瀵圭�拌揣��瀹跺奖��杈�澶с����涔�杩���澶��撮�ㄥぉ姘�锛�涓�娓告�藉伐���伙��告������㈢�″��洪��姹�����浜ら���炬����������绱���瀹跺�����瀵逛�涓���锛��烘��浠���璧板急涓轰富锛�浣�璺��胯����ㄦ�剧�锛��や���搴�璧����㈢揣寮�澶�锛���澶�涓�娓搁��姹�����缁�寮卞�夸���褰���褰卞����浠风������锛�浣�褰��� 璺��充�浣�锛��㈠����璐告�����轰环姘��存��杈�娴���锛���姝ら�璁″缓绛��㈡��涓��� ��涓�璺�锛�浣�骞�搴�灏�缂�瑙c����姹���娲辩����涓绘��ヤ环3250-3280��/��锛����ㄥ����瀹跺������浜や环宸茬�璺���3230��/�ㄣ��杩����㈠����缁��拌揣锛�涓昏�浠ユ��㈠��姝���涓轰富锛�甯��哄�瀛�����杈�澶э�������璧�������绱у�锛���瀹舵��浣�涓�绉����诲�瀛���娆撅�浣�涓�娓搁��姹�浣�杩凤���浠蜂害�� ��浜ゆ�瑰��锛��翠��鸿揣���典�浣炽��瀵逛���甯�锛���瀹朵俊蹇�渚��朵�瓒筹�浣��翠�����璧���������缂�锛��告������㈢�″��鸿���姘��存��瓒�娴�锛�棰�璁′��ㄥ�浠峰急�跨���淬�������㈠����缁��拌揣锛������告���缂��㈢�″�瀛��归�㈣�浼���涓����������� 濡�瀵�娼�娣变技娴凤��㈠�����璋��㈢��锛���浜ч��澧���锛��哄�e������������ 璧板急锛�涓���涓��������板�虹�拌揣 浠��跺��楂����疯涧 浜��惧舰����寮逛��匡� �归��渚���浠�澶�浜�涓�骞宠 �舵��锛��� �归��锛�涓�娓稿������浠ュ���烘�跨�� 杩� 姝ヨ�寮憋�瀵瑰�疯涧 ��������涓�瓒炽���存�ヤ汉宸ラ�告�������缂��㈢�$�� 娴�绋���娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎����瀹�瑁�����琛� ��杞ф��缂��㈢�′富瑕���浜у伐搴�锛��充富瑕�妫�楠�宸ュ�锛�锛���璧�

��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎����


��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎����宸ヨ�烘�绋� �疯涧锛���锛���缂��㈢�′富瑕���浜у伐搴�锛�{���哄�板����瓒����℃���ㄥ�浠峰急�夸�璺�锛����冲�� 涓�璺�骞�搴���50��/�ㄣ��褰���浣�浣���浜� ��锛���瀹舵��浣�涔�瓒�浜�瑙�����璧�婧��归��锛�杩���娌у�涓����村��������澧���锛���瀹跺�鸿揣���垮�寮猴�涓�杩���璐告������棣�锛���������涓�涓���璧�婧��ヤ环�歌�锛�涓诲�����㈡�扮嚎��浜у��锛���澶╂触甯��轰�搴���澧���锛�涓�浠ヤ腑�磋��间负涓伙���姝や����т�甯��虹��浜�锛��告������㈢�¤锤����涓��㈣�澶��よ揣锛��烘��淇����鸿揣��濂�锛�瑙��块��╋���棰�璁′��ㄤ富娴�浣�浣��寸����涓����ㄨ���涓�蹇�锛��变����版��浜� ��浣�杩凤�璐告����蹇���杞�宸�锛���涔����㈠ぇ骞�涓���锛�甯��轰富娴��ヤ环����涓���锛�璐告����璁╀环淇�����浣�����锛���澶ц���浠ョ户缁�浼���锛���姝ゅ�浠峰��� ��璧颁�锛�璺���3300澶у�炽��瀵逛�涓���锛�����涓�娓告�ュ����渚��朵�瓒筹�����浼�绋冲�伴�撅�浣�浣�褰卞��涓�锛�甯�浠锋��缁х画绐�骞�涓�婊�����姝わ�瑕�瀵圭簿瀵��锋��绠$����浜у伐�哄���轰弗�艰�瀹�锛�骞跺��寮哄�瑰����杩�绋��� �� 锛�浠��������垮����娑��ゅ�锋��绠℃��瑁��电�辩����灞�锛�淇�璇��惰��ㄧ��瀹��ㄧǔ瀹��с����绮惧���㈢�$��浜т腑��瑕�娉ㄦ������妯″�疯�捐�°���������告��� 绛��′欢锛�骞朵�搴�璇ュ���跺�ㄦ��绠$��璐ㄩ��妫�娴���澶�妫��归�㈠��濂藉��澶�宸ヤ���涓��㈡��杩���椤圭���蜂�瑕�姹�锛� 瀹�瑁�����琛ㄦ�娼�浼�涓�瑕����间�����澶��ㄦ�����ヨ��浣��癸�绔�浜����ㄤ��癸�涓������帮�涓���杩�姝ャ���板凹��涓�����浜у��涔���绉�����绱����舵����杩�姝ュ��浠ヤ�杩��藉��涓�����浼�涓����翠釜琛�涓�杩�琛�璋��达���楂��舵�稿�绔�浜���锛����ュ�朵��匡�涓���杩�琛��������般��Di锛���绉扮�村�mm��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎���� 瀹�灏洪�垮害锛�瀹�灏洪�垮害搴��ㄩ��甯搁�垮害���村��锛�������涓�瑕�姹����� �哄���垮害灏哄�搞��浣�瀹�����浣�涓��藉���虹�瀵瑰��灏洪�垮害��涓�澶у���界��锛���姝ゆ����涓�瀵瑰��灏洪�垮害瑙�瀹�浜���璁哥��姝e��宸��笺��浠ョ���绠℃����涓猴������㈢�″��瀹剁��浜у��灏洪�垮害绠℃����甯搁�垮害绠$��������涓���骞�搴�杈�澶э���浜т�涓����哄��浠疯�姹�������������浠峰�搴���浼�涓�涓�灏� �达� ��涓哄�轰环�虹�涓���浠�10%宸��炽��浠ュ��涓哄�绠″����澶��� ��→绠″������→绌垮��→杞х��→�㈢�″������→瀹�锛���锛�寰�→��澶�����→����绠$����→绮炬��→妫�楠��筹��������������版�锛� →�ュ��ヨ��

��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎����


��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎�����荤��ㄥ�藉��猴��������规�藉伐���伙�甯��烘��浜よ�寮憋�搴�瀛���灏�骞�澧���锛���浠蜂��惰Е搴�寰��惧�ゆ����浠����跨�� ��涓�璺��伴�㈠�� 涓�婊�锛����伴��浠锋��缁�璧板急锛�����杩�绉�璺��垮凡缁�褰㈡��浜� 绉� ��搴���骞村�锛�娣″�i��姹�+璧�����绱�+��楣��㈡����绋� ��娑�锛���浠����借�达��㈠��璺���2000澶у�冲�璇ヤ��撅��告���缂��㈢�$户缁�涓�璺�涔���澶ф���浜�浠讹���楂����峰�圭�ょ�����浣���姣���璋������电����瑕����戒� ��灞变��告��������や����ゆ贩���峰�规�������㈤��浼�涓�甯哥�ㄧ���峰�圭�ょ���锛�杩�绉�娣峰���峰�规�瑰��藉�缁煎�� ���ゆ�ュ��������楂��� �уソ�������ゅ�哄��纰冲����楂��� �奸����浼��癸�杈惧�伴��浣���姣�锛���绾���浜ф������������杩�骞存�ワ�灞变��告���涓��� ��������锛��╁��峰�圭�ょ�绫伙�灞变��告���浼����峰�圭�ょ�����涓鸿��绾���������瑕����戒� ���告�����瀛������ㄧ��������������浠�����浜�瑜��や�浼�缁��峰�圭�ㄦ������ �у�� �肩��宸�寮�骞堕���ㄩ�跨�″��ょ� �ф�瀹�瑁�缃���绌朵�绮�搴�瀵硅��� �х��褰卞�������堕��瀵规贩�や腑瑜��ょ����瀹�����姣�渚�锛���绌朵�瑜��ゆ坊����涓�娣风�ょ�� �у�� �х���稿�虫�с��缁���琛ㄦ��锛�瑜��ょ�搴�灏�浜�0.087姣�绫冲����寮� �с��浣�瑜��や������ゆ贩���藉��������� �э�褰�娣峰���峰��涓�瑜��ょ��璐ㄩ�����颁�浜�40%�舵贩�ゆ病�� �с��瑜��ょ�� �уソ浜������わ� ��娣峰������瑜��ゆ��渚���澧���锛�娣风�ょ��澶遍���茬嚎�虹�板���瑰�宄帮���楂�瑜��ゆ�烘贩姣��藉��瑰��娣风�ょ�� �с��缁煎��浠ヤ���绌剁���琛ㄦ��锛�灞变��告���瑜��ょ�ㄤ�楂����峰�规�剁��姣�渚� ��40%(璐ㄩ������)浠ヤ�涓哄����璧�婧� ���� 骞冲��娉� 姣�绠� ��灞�璇剧�

��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎����


��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎�����告�������缂��㈢�$�� 娴�绋���缂��㈢�″�锋��涓�绌烘����锛�澶ч���ㄤ�杈���娴�浣���绠¢��锛�濡�杈����虫补��澶╃�舵����ゆ���姘村����浜��轰��╂����绠¢��绛����㈢�′����㈢��瀹�蹇��㈡���告��锛��ㄦ��寮�����寮哄害�稿���讹�����杈�杞伙��� 绉�缁�娴����㈤�㈡���� 姣�L����娑茬害����涓�����浜у��50锝�60�°��

��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎����


��娲辩簿�搁�㈢�� 浠锋�煎���� �告� 灏介��涓�瑕���姘村甫�ュ�伴����妲戒腑锛�浠ヤ�������娑茬��浣跨�ㄥ�垮�斤�浼�涓�瑕����间�����澶��ㄦ�����ヨ��浣��癸�绔�浜����ㄤ��癸�涓������帮�涓���杩�姝ャ���板凹��涓�����浜у��涔���绉�����绱����舵����杩�姝ュ��浠ヤ�杩��藉��涓�����浼�涓����翠釜琛�涓�杩�琛�璋��达���娲遍�告�纾峰��浣��� 锛���楂��舵�稿�绔�浜���锛����ュ�朵��匡�涓���杩�琛��������般��浠�甯��烘�ョ��锛��变����� 澶�浜�杈�浣�姘村钩锛��ㄥ���告������㈢�¤揣��澶у���灏�锛�甯��哄�虹�颁�瑙��肩��缂轰�榻������碉�����瀵� �ユ������锛�浣���涓�娓稿伐绋��变�楂�娓╁��ㄧ��瀛� ���у��绱�褰卞��锛��藉伐杩�绋�缂���锛���姹�璺�杩�涓�瓒崇������涓�锛���浜ら�炬��浜��艰〃�帮���姝ゅ��轰�灏�澶�浜�涓�琛����裤������瓒���浜ц�浜���锛�瓒�浜���瓒���浜э�宸叉���藉���㈠�����辨�э�涓虹淮�よ���娴�锛�淇�浣�甯��轰唤棰�锛��㈠����浜у�ㄤ�濮�缁��炬��浣�涓猴�浜ч���存�ヨ浆涓哄�瀛�锛�濡�姝ゅ惊��锛��ㄨ������� 澶���锛���浠峰�垮�浼�琚���浣���